超純水部分包括：拋光混床、脫氣膜、TOC—UV、UV殺菌機(jī)、絕dui過濾器等設(shè)備(在電子領(lǐng)域較多采用)

　　TOC;UV裝置，采用峰值為185nm波長(zhǎng)的紫外燈，通過高劑量的UV一185紫外催化，在水中產(chǎn)生。0H翔基自由基，對(duì)水中的有機(jī)物進(jìn)行氧化降解，以達(dá)到降低水中TOC的含量。特點(diǎn)：綠色、環(huán)保、穩(wěn)定、高效、安全。

　　UV殺菌裝置，采用峰值為254nm渡長(zhǎng)的紫外燈，能有效糸滅冠狀病毒、衣原體、支原體、立刻次式體、細(xì)菌、真苗、芽孢等有害微生物。系菌滅藻率可達(dá)99.99％一100％。